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振動(dòng)樣品臺(tái)主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀、VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀。用于對(duì)粉末樣品的濺射鍍膜使用,由于樣品臺(tái)的不斷振動(dòng),使粉末顆粒樣品不斷進(jìn)行翻轉(zhuǎn),從而使粉末顆粒的整個(gè)外表面全部濺射上所需要的薄膜材料,或用薄膜材料將粉末進(jìn)行包覆。
TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測(cè)厚儀,可快速精確地測(cè)量透明或半透明薄膜的厚度,其測(cè)量膜厚范圍為15nm-50um,儀器所發(fā)出測(cè)試光的波長(zhǎng)范圍為400nm-1100nm。此款測(cè)試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反射率,并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧,方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。