腔體環(huán)境

水含量: <1 ppm (20°C, 1 atm)
氧含量: <1 ppm (20°C, 1 atm)

前級(jí)室

設(shè)計(jì)有兩個(gè)前級(jí)室
大前級(jí)室尺寸：Φ360mm x 600mmL
小前級(jí)室尺寸：Φ150 mm x 300mm(L)

工作氣體

工作氣體：N2、Ar、He 等惰性氣體
控制氣體：壓縮空氣或惰性氣體
還原氣體：工作氣體和氫氣（H2）的混合氣。
如果凈化系統(tǒng)只有除水功能的，還原氣體與工作氣體相同

氣體凈化系統(tǒng)

德國(guó) BASF 除氧材料，美國(guó) UOP 吸水材料，凈化系統(tǒng)再生過程自動(dòng)控制，自動(dòng)除水除氧功能；可長(zhǎng)期、持續(xù)維持氣體純度：水<1ppm，氧<1ppm。

壓力控制系統(tǒng)

腔體氣壓可通過 PLC 觸摸屏自動(dòng)控制
控制精度為: ±1Pa
也可通過腳踏開關(guān)進(jìn)行手動(dòng)控制

過濾系統(tǒng)

進(jìn)氣和出氣端都安裝有過濾器
過濾精度為：0.3μm

控制系統(tǒng)

SIEMENS 彩色觸摸屏（6 寸），PLC 控制系統(tǒng)，中英文雙語可切換
水探頭：采用美國(guó) GE 品牌，0～1000ppm 觸摸屏顯示，精度 0.1 ppm
氧變送器：采用美國(guó)AII品牌，0～1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1 ppm
壓力傳感儀：采用美國(guó) setra 品牌，-2500～2500Pa 觸摸屏顯示，精度±1Pa

手套

美國(guó) NORTH 品牌丁基合成橡膠

照明系統(tǒng)

配置飛利浦品牌熒光燈管

儀器尺寸

2300mm(L) x 1500mm(W) x 1900mm(H)

注意事項(xiàng)

手套箱內(nèi)部氣體循環(huán)時(shí)，必須保證循環(huán)系統(tǒng)管道通暢，不可堵塞
手套箱中不可通入腐蝕性氣體
要定期對(duì)手套箱進(jìn)行再生
手套箱的除氧速率要根據(jù)所通入的工作氣體而定，采用 N2 的除氧要比通入 Ar 好
若手套箱內(nèi)部放有腐蝕性氣體（如 LiPF6 電解液），不使用時(shí)，必須把裝液體的瓶子密封好

旋涂機(jī)參數(shù)

1、腔體（材質(zhì)）：聚丙烯

2、載樣盤（吸盤）：聚丙烯吸盤Φ19mm 、Φ60mm 、φ100㎜各一個(gè)

3、運(yùn)行方式：可儲(chǔ)存 12 組程序；每組程序包含 6 個(gè)運(yùn)行階段

4、涂膜轉(zhuǎn)速：20rpm-12500rpm 有效，速度分辨率1rpm/s

5、增減速率：每段增減速率設(shè)置范圍： 20 rpm —15000 rpm/s

6、涂膜時(shí)間：每段時(shí)間范圍：0-3000s

7、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%

液體攪拌系統(tǒng)

配備四個(gè)可加熱磁力攪拌泵

加熱溫度RT-100℃

磁力攪拌速度：0-2000rpm

注液系統(tǒng)

移液槍自動(dòng)左右上下移動(dòng)

水平移動(dòng)有效行程：500mm行程

水平移動(dòng)速度：1~1800mm/min(整數(shù))。

垂直上下移動(dòng)有效行程：250mm；

上下提拉移動(dòng)速度：1~200mm/min(整數(shù))

配備四個(gè)高精度自動(dòng)注液器

注液精度：±1μl

增量：1μl

薄膜烘干系統(tǒng)

1、加熱功率：3500W

2、加熱溫度：≤500℃

3、控溫精度：±1℃

4、加熱板：350mm×240mm