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VTC-100PA-II真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

簡要描述:VTC-100PA-II真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點,主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-03-30
  • 訪  問  量:422

詳細介紹

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IMG_256VTC-100PA-II真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標配兩個不同大小的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA-II加熱型真空旋轉(zhuǎn)涂膜機工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度至限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節(jié)約材料。VTC-100PA-II真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點,主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。IMG_2591、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
2、真空度可以達到-0.08MPa。
3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
5、電機采用24V直流無刷電機,可靠性高,適應(yīng)性強,維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
6、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。
7、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實耐用且質(zhì)輕。
8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進行涂層。
9、全英文操作系統(tǒng)。
10、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止。
11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機控制系統(tǒng),數(shù)值顯示更直觀可靠。IMG_261

產(chǎn)品名稱

VTC-100PA-II加熱型真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

產(chǎn)品型號

VTC-100PA-II

安裝條件

1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無凝露) 溫度: 0-45℃。
2、設(shè)備周圍無強烈震源和腐蝕氣體。
3、水:設(shè)備配有排污下水口
4、電:單相:AC220V 50Hz 國標三極插座 10A 必須有良好接地
5、氣:真空負壓(真空泵)  抽氣流量不小于 70L/M(設(shè)備可通保護惰性氣體;如:Ar N2)
6、工作臺:建議 800X600X700mm 承重 50KG 以上(固體水泥臺最佳)
7、通風裝置:無特殊要求

主要參數(shù)

1、供電接口:主機:AC220 50Hz 10A  加熱:AC220 50Hz 10A(此設(shè)備支持 AC110V 50/60Hz 產(chǎn)品定制)
2、總功率:≤1150W(不含外接真空泵)
3、涂膜腔體(材質(zhì)):聚四氟
4、載樣盤(吸盤):聚四氟吸盤Φ19mm 、Φ60mm 各一個
5、運行方式:可儲存 12 組程序;每組程序包含 6 個運行階段
6、涂膜轉(zhuǎn)速:500rpm-10000rpm 有效
7、增減速率:每段增減速率設(shè)置范圍: 100 rpm —2000 rpm
8、涂膜時間:每段時間范圍:0-60s
9、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1%
10、控制方式:PCB 單片機、 按鍵控制 LMC 液晶顯示屏
11、加熱方式:碳纖維加熱管 獨立控制溫度系統(tǒng),與主機控制無關(guān)聯(lián)
12、加熱溫度:室溫-200℃
13、加熱功率:AC220V 1000W
14、控溫精度:±2℃

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:450mm×340mm×280mm;
重量:20kg

IMG_263 

序號

名稱

數(shù)量

圖片鏈接

1

真空吸盤(含O型圈)

(?19mm和?60mm)

2個

IMG_264IMG_265 

2

中心定位器(含4個定位柱)

1個

IMG_266 

3

滴膠注射器(20ml)

1個

IMG_267 

4

注射器支架

1個

 

5

無油真空泵

1個

IMG_268 

6

橡膠管(含卡箍)

1根

 

IMG_270 

序號

名稱

功能類別

圖片鏈接

1

其它尺寸的真空吸盤

(可選)

IMG_271 

2

國產(chǎn)移液槍

(可選)

 

3

進口移液槍

(可選)

IMG_272 

 


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